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科技成果转化公示〔2026〕32号——一种基于温控微量石英天平的铯沉积诊断装置及方法

发表时间:2026-06-16 作者: 阅读量:

根据《华中科技大学科技成果转化管理办法》规定,对我校电气与电子工程学院左晨老师团队的“一种基于温控微量石英天平的铯沉积诊断装置及方法”成果转化相关事项公示如下:

一、成果名称及简介

成果包含1项知识产权:

(1)发明专利:一种基于温控微量石英天平的铯沉积诊断装置及方法

发明人:左晨,薛枫,陈德智,李冬,夏昊骅

专利号:ZL202410433351.5

专利权人:华中科技大学

简介:本发明公开了一种基于温控微量石英天平的铯沉积诊断装置及方法,属于负离子源及铯沉积诊断领域,该装置在QMB原始的金晶片表面上镀了镍或钼,用以模拟负离子源中的铯在等离子体栅极的沉积情况,从而实现铯在等离子体栅极的沉积诊断,并可由此对比分析铯在镀镍或钼的晶体表面的沉积效果;设计了可移动的着铯挡板,在铯流不稳定阶段着铯挡板覆盖在晶片着铯面阻止腔体中的铯附着在晶片上,待铯流稳定之后再移走着铯挡板使铯在晶片上沉积,能够提高测量精度、延长晶片的使用寿命;通过温控系统实现对晶片的温度控制,从而开展钼等多晶片实验,更为全面地研究铯的吸附解离过程,有助于研究分析温度和基底金属种类对铯吸附解离的沉积效果影响。

二、拟交易价格

普通许可:40万元。

三、价格形成过程

经全体发明人同意,并与北京新奥聚变能源科技有限公司协商,双方同意以40万元实施普通许可,许可期限为3年。

特此公示,公示期15日,自2026年6月16日起至2026年6月30日。如有异议,请于公示期内以书面形式实名向我院反映。

联系人:尹老师、庄老师

联系电话:87558732

科学技术发展院

2026年6月16日